Populärwissenschaft der Schleif- und Schleifwerkzeugindustrie

Chemische Dampfabscheidung mit Heißdraht

 

Die chemische Gasphasenabscheidung mit heißen Filamenten (HFCVD) ist ein Verfahren zur Herstellung von Diamantfilmen. Sein Hauptprinzip besteht darin, ein Gemisch aus kohlenstoffhaltigem Gas und Wasserstoff durch Niederdruck-Dampfabscheidung bei hoher Temperatur in eine Reaktionsofenkammer zu leiten und es durch einen heißen Draht (Wolframdraht) in kohlenstoffhaltige aktive Gruppen und angeregte Wasserstoffatome zu zerlegen oder Molybdändraht) bei hoher Temperatur, die dann auf dem Substrat abgeschieden werden, um einen Kohlenstofffilm zu bilden. (Popularwissenschaft der Schleifmittel- und Schleifwerkzeugindustrie)